全氟醚橡胶密封圈研发中心建设项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 芯密科技    2025-06-17

全氟醚橡胶由全氟醚生胶通过硫化剂的硫化、功能填料的复配混炼等配合改性制成。全氟醚橡胶复配配方技术是指对全氟醚生胶、硫化剂、功能填料等各组分材料进行种类选择并确定含量和配比等配方参数，其对于全氟醚橡胶优异性能的充分发挥具有至关重要的作用，直接决定全氟醚橡胶密封件的关键性能，包括物理机械性能以及耐高温、耐介质、耐等离子体和超洁净等诸多维度综合性能，具有较高的技术壁垒。

1、资金的具体用途

本项目旨在布局行业前沿高性能半导体全氟醚橡胶密封圈关键技术及新型高分子氟材料技术等研究。其中，行业前沿高性能半导体全氟醚橡胶密封圈关键技术包括全新一代超高性能全氟醚橡胶材料的开发、全氟单体的定制化开发、先进工艺的全氟醚橡胶材料的开发、智能监控系统集成和有限元模拟、全氟醚橡胶密封圈在液晶面板、航空航天等新领域的开发应用。

新型高分子氟材料技术包括氟树脂、氟膜等相关材料的半导体零部件开发以及材料表面改性处理技术等。本项目总投资 25,914.84 万元。其中，新增固定资产投资 12,343.80 万元，新增软件投资 2,080.00 万元，研发投入 10,982.91 万元，基本预备费 508.13 万元。

2、项目实施的可行性

（1）公司在团队建设、研发投入方面积累了丰富的建设运营经验

公司已具备一支高素质的研发团队，研发人员均拥有丰富的高分子材料科学、纳米科学和半导体设备零部件领域的专业背景和工作经验，且在行业中积累了丰富的研发经验。研发团队在超洁净、耐等离子体、耐高温、耐介质等全氟醚橡胶材料的关键性能方面具备深厚的研究技术积累，成功开发出四大类适应不同半导体工艺需求的全氟醚橡胶材料系列，逐步提升了公司在半导体级全氟醚橡胶密封件市场中的影响力。

凭借多年来在半导体级全氟醚橡胶材料方面的深入探索，公司研发团队形成了较强的技术创新能力，能够迅速响应市场变化并针对客户需求进行配方调整与性能优化，为本项目的顺利开展提供经验支持。

（2）公司积累的客户资源和研发经验有助于未来完成各类新产品的研发和现有产品的迭代

公司自 2021 年起已先后成功通过国内主流知名半导体厂商的严苛产品认证并实现批量稳定供应，包括中国大陆前十大晶圆制造厂商中的九家公司，中国大陆前五大半导体设备厂商中的四家公司。

公司全氟醚橡胶密封圈产品材质系列丰富、性能品类齐全，可全面覆盖前道制程核心工艺中需要真空密封的各类半导体设备的全系列点位。公司在发展过程中积累的客户资源和研发经验有助于公司未来运用更先进的研发手段和设备攻克更高性能产品生产所需的核心技术，完成各类新产品的研发和现有产品的升级迭代。

（3）公司完善的项目研发流程和管理体系保障项目顺利实施

公司拥有完善的项目研发流程和成熟的管理体系，将为研发中心建设提供有力保障。在多年全氟醚橡胶密封圈的研发和生产实践中，公司已建立起科学的项目管理流程，涵盖从立项、研发设计、测试验证到生产转化的各个阶段，每个环节均有清晰的节点控制和质量标准，确保项目按照既定目标和进度高效推进。

同时，公司已构建成熟的研发管理体系，从设备引进、实验室搭建到技术团队的任务分配等均在严格的管理流程中进行，有效保证了项目的高效实施和资源的最优利用，保障了新产品开发的持续迭代和创新能力的不断增强，这将为本项目的顺利实施提供强大支撑。

3、项目与现有主要业务、核心技术之间的关系

研发创新是公司的发展之本，公司已构建起复配配方技术、生产工艺技术、产品应用技术等三大核心技术有机融合的一体化技术研发体系，本项目的建设将进一步加强公司在高性能半导体全氟醚橡胶密封圈关键技术及新型高分子氟材料技术等方面的研究，布局行业前沿发展技术。通过建立软硬件更加完善、更具人性化设计的研发场所，有助于增强公司技术实力，提高核心技术研发水平和产品核心竞争力，满足未来发展的战略需求。

4、投资概算情况

项目投资预算为 25,914.84 万元，包含工程建设费用 14,423.80 万元、研发费用 10,982.91 万元，基本预备费 508.13 万元。

5、项目实施主体及实施地点

本项目实施主体为上海芯密科技股份有限公司，拟实施地点为上海市浦东新区层林路 1556 号、1558 号焦耳园。《上海市企业投资项目备案证明》（项目代码： 2503-310115-04-01-919412）。正在按照相关法律 法规要求履行环境影响评价程序。

6、行业竞争情况及公司在行业中的竞争地位

半导体级全氟醚橡胶密封圈技术门槛高、国产化率低，长期以来其国内市场始终被美国杜邦、美国 GT、英国 PPE 等外资企业所垄断，行业集中度较高。根据弗若斯特沙利文统计，半导体级全氟醚橡胶密封圈 2024 年的国产化率不足10%，国产替代潜力巨大。

随着公司产品成功实现技术突破、达到国际先进技术水平并可与外资企业直接竞争，公司自 2021 年起已先后成功通过国内主流知名半导体厂商的严苛产品认证并实现批量稳定供应，包括中国大陆前十大晶圆制造厂商中的九家公司，中国大陆前五大半导体设备厂商中的四家公司。

公司产品在半导体晶圆制造的前道设备领域实现深度融合和广泛应用，逐步占领外资企业在国内的市场份额，成功实现国产替代。根据中国集成电路零部件创新联盟 2024 年出具的证明，公司已成为全氟醚橡胶密封圈细分领域的优势企业，系列产品技术水平国内领先，填补了国内空白，实现了国产替代，公司自主研发的全氟醚橡胶密封圈已在集成电路领域实现批量应用，市场占有率位居全国前列。

根据弗若斯特沙利文统计，2023 年、2024 年公司半导体级全氟醚橡胶密封圈销售规模连续两年在中国市场排名第三，在中国企业中排名第一，是中国半导体级全氟醚橡胶密封圈市场的领先企业。

7、公司主营业务的基本情况

公司是国内半导体级全氟醚橡胶密封件领军企业，深度聚焦全氟醚橡胶的技术研发和应用创新，在国内率先实现自主开发半导体级全氟醚橡胶材料并稳定量产全氟醚橡胶密封圈等半导体设备关键零部件，有效打破了美国杜邦、美国 GT、英国 PPE 等外资企业在我国半导体级全氟醚橡胶密封圈领域的垄断局面。

公司基于自研配方生产的全氟醚橡胶材料，为国内半导体设备厂商和晶圆厂商的刻蚀、薄膜沉积、热处理、清洗等前道制程核心工艺设备提供全系列点位真空密封所用的全氟醚橡胶密封圈、全氟醚橡胶功能部件等产品。

公司产品能有效胜任半导体前道制程核心工艺设备不同型号和全系列点位的严苛真空密封要求，可全面覆盖先进制程和成熟制程技术节点并在 232 层 NAND 存储芯片、19nm 及以下 DRAM 存储芯片和 5nm-14nm 逻辑芯片等先进制程实现突破和规模化销售，通过充分满足半导体设备的多样化和定制化需求，服务于技术和制程不断迭代的半导体设备。

根据弗若斯特沙利文统计，2023 年、2024 年公司半导体级全氟醚橡胶密封圈销售规模连续两年在中国市场排名第三，在中国企业中排名第一，公司已成长为国内半导体设备用高端全氟醚橡胶密封圈的头部企业。

半导体前道工艺主要完成晶圆制造，该等工艺设备类型复杂、技术难度较高，对工艺环境和零部件的要求极为严苛。公司全氟醚橡胶密封圈是构成半导体前道工艺设备真空环境所必备的“耗材类”关键零部件，其中部分核心产品系构筑反应腔体真空环境，与晶圆加工反应区直接接触，长期处于超高温、强腐蚀、富等离子体、强酸碱等恶劣腔体反应环境中，其性能直接影响晶圆制造良率和晶圆连续生产时间，是半导体前道工艺设备的关键零部件；同时由于全氟醚橡胶密封圈在常规使用过程中会出现正常损耗，因此需定期更换以保障其性能，根据弗若斯特沙利文统计数据，全氟醚橡胶密封圈是晶圆制造中消耗价值量占比第二大的“耗材类”关键零部件。

同时，根据中国集成电路零部件创新联盟 2024 年出具的证明，―全氟醚橡胶密封圈属于设备关键零部件，公司自主研发的全氟醚橡胶密封圈已在集成电路领域实现批量应用，市场占有率位居全国前列，对于保障我国集成电路产业供应链的安全可控和集成电路产业的稳定发展具有重要作用‖。

公司是国家级专精特新―小巨人‖企业，自成立以来始终专注于半导体级全氟醚橡胶材料及密封件的研发创新和产业化应用，通过反复的科学实验和生产实践，成功攻克并掌握关键的复配配方技术、生产工艺技术和产品应用技术，拥有涵盖全氟醚橡胶材料配方研发、产品精密加工和应用服务等在内的全套技术和服务体系。

公司全氟醚橡胶密封圈具有优异的物理机械性能以及耐高温、耐介质、耐等离子体和超洁净等突出性能，配方研发难度大、工艺技术复杂，需要经过半导体设备厂商和晶圆厂商的严苛验证，技术壁垒高。

根据中国石油和化学工业联合会 2025 年科技成果鉴定，“公司电子产业用全氟醚橡胶密封件制备技术总体达到国内领先水平，关键指标达到国际先进水平”。半导体级全氟醚橡胶密封圈技术门槛高、国产化率低，外资企业凭借先发优势，长期占据国内市场主导和垄断地位。根据弗若斯特沙利文统计，半导体级全氟醚橡胶密封圈 2024 年的国产化率不足 10%。随着公司产品成功实现技术突破、达到国际先进技术水平并可与美国杜邦、美国 GT、英国 PPE 等外资企业直接竞争，公司自 2021 年起已先后成功通过国内主流知名半导体厂商的严苛产品验证并实现批量稳定供应，包括中国大陆前十大晶圆制造厂商中的九家公司，中国大陆前五大半导体设备厂商中的四家公司。

公司产品在半导体晶圆制造的前道设备领域实现深度融合和广泛应用，逐步占领外资企业在国内的市场份额，成功实现国产替代。根据中国集成电路零部件创新联盟 2024 年出具的证明，―公司已成为全氟醚橡胶密封圈细分领域的优势企业，系列产品技术水平国内领先，填补了国内空白，实现了国产替代‖。

半导体设备是半导体产业的重要支撑，而设备零部件是半导体设备国产化的基石和载体。凭借优异的产品性能，公司不仅保障了半导体国产设备原装零部件和晶圆厂耗材替换的日常稳定供应，更是作为半导体设备关键零部件的重要供应商，与半导体设备行业头部企业开展密切战略合作，协助客户进行全氟醚橡胶密封圈的精准应用和定制化开发，参与客户新设备研发、定型、量产和迭代的全过程，充分保障我国半导体国产设备关键零部件的自主可控和供应链安全。

同时，公司积极参与国家重大项目研发，承担了科技部“14 纳米集成电路生产装备所需关键零部件自主可控研发”项目子课题，有效助力我国半导体关键零部件产业的技术突破和升级迭代。未来，公司将继续坚持面向经济主战场、面向国家重大需求、重点服务国内本土半导体设备厂商和晶圆厂商的战略目标，深耕半导体产业链“卡脖子”领域，不断开发新材质、新产品，为我国全氟醚橡胶材料及密封件在半导体产业链中的国产替代提供强有力支撑，成为国际先进、国内领先的世界级全氟醚橡胶材料及密封件整体解决方案提供商。

此报告为完整版摘录公开部分。定制化编制政府立项审批备案、国资委备案、银行贷款、产业基金融资、内部董事会投资决策等用途可研报告可咨询思瀚。

目录

第一章 概述

1.1 项目概况

1.1.1 项目名称

1.1.2 项目建设性质

1.1.3 项目拟建地址

1.1.4 项目建设内容及规模

1.1.5 项目建设工期

1.1.6 项目投资估算及资金筹措

1.1.7 项目生产规模

1.2 企业概况

1.3 编制依据及研究范围

1.3.1 编制依据

1.3.2 研究范围

1.3.3 编制原则

1.4 主要结论和建议

1.4.1 主要结论

1.4.2 建议

第二章 项目建设背景、需求分析及产出方案

2.1 项目背景

2.2 项目建设的必要性

2.2.1 有利于优化区域产业结构，产业发展完善

2.2.2 项目建设是公司规模扩展，全球发展战略的重要组成部分

2.2.3 增加产能，提高公司盈利水平

2.2.4 有利于提高公司的行业竞争力及盈利能力

2.2.5 提升生产信息化和自动化水平，为业务发展和高效管理赋能

2.3 项目建设的可行性

2.3.1 国家政策推动行业的发展

2.3.2 公司拥有优质的客户资源及良好品牌认可度

2.3.3 行业经验丰富，技术协同优势显著

2.3.4 优秀的人才队伍和管理体制为本项目的顺利实施提供了基础保证

2.4 市场需求分析

2.4.1 市场需求分析：通过量化目标市场的消费需求，预测产品的潜在销售量及增长趋势

2.4.2 市场供给分析：评估现有及潜在竞争者提供的同类产品数量，识别供给缺口或过剩

2.4.3 市场竞争分析：研究行业竞争格局，包括市场份额分布、主要竞争对手策略及进入壁垒

2.4.4 项目产品分析：结合产品特性（如价格、质量、功能）与市场需求匹配度，判断其竞争力

2.4.5 市场综合分析：整合供需、竞争及产品数据，形成对项目整体可行性的判断

2.5 项目建设内容、规模和产出方案

2.5.1 项目建设内容及规模

2.5.2 项目产出方案

2.6 项目商业模式

2.7 项目对我国国家利益和国家安全的影响分析

第三章 项目选址与要素保障

3.1 项目选址方案

3.1.1 项目选址的原则

3.1.2 项目选址需求

3.1.2 选址方案的初步拟定

3.2 项目建设条件分析

3.2.1 概况

3.2.2 政治

3.2.3 经济

3.2.4 项目投资地营商的主要优势

3.2.5 投资激励

3.2.6 经贸情况

3.2.6 法律法规

第四章 项目建设方案

4.1 技术方案

4.1.1 原料路线确定原则

4.1.2 生产工艺技术路线确定原则

4.1.3 技术先进性

4.1.4 生产工艺流程

4.1.5 主要原辅材料耗量

4.2 设备方案

4.3 工程方案

4.3.1 给排水工程

4.3.2 变配电工程

4.3.3 消防工程

4.3.4 火灾报警及消防控制系统

4.3.5 通信工程

4.3.6 室外管网等配套工程

4.4 数字化方案

4.4.1 工业化生产可靠性分析

4.4.2 技术管理及特点

4.4.3 建筑智能化

4.5 建设管理方案

4.5.1 项目建设期管理

4.5.2 公司注册及审批流程

4.5.3 项目审批流程

4.5.4 项目申报

4.5.5 ASME认证

4.5.6 UL认证

4.5.7 项目实施进度计划

第五章 项目运营方案

5.1 生产经营方案

5.1.1 采购模式

5.1.2 生产模式

5.1.3 销售模式

5.1.4 研发模式

5.1.5 影响公司经营模式的关键因素

5.1.5 燃料动力供应保障

5.2 安全保障方案

5.2.1 危害因素和危害程度分析

5.2.2 安全措施方案

5.2.3 消防设施

5.3 运营管理方案

5.3.1 人力资源配置

5.3.2 人员培训

5.3.3 员工退场

第六章 项目投融资与财务方案

6.1 投资估算

6.1.1 投资估算范围

6.1.2 项目投资估算

6.1.3 资金使用和管理

6.2 盈利能力分析

6.2.1 基础数据与参数选取

6.2.2 编制依据

6.2.3 收入测算

6.2.4 成本核算

6.2.5 利润核算

6.2.6 财务评价分析

6.3 财务可持续性分析

6.3.1 不确定性分析

6.3.2 偿债能力分析

6.3.3 评价结论

第七章 项目影响效果分析

7.1 经济影响分析

7.2 社会影响分析

7.3 生态环境影响分析

7.3.1 施工期环境影响分析

7.3.2 营运期环境影响及环保措施

7.3.3 环境保护的建议

7.3.4 环境影响评价结论

7.4 资源和能源利用效果分析

7.4.1 项目能耗情况

7.4.2 节能措施及效果分析

7.4.3 管理节能措施

7.4.4 资源和能源利用效果分析结论

第八章 项目风险管控方案

8.1 工期风险

8.2 质量风险

8.3 市场竞争加剧的风险

8.4 市场波动风险

8.5 政策风险

8.6 政治风险

第九章 思瀚产业研究院结论与建议

9.1 主要研究结论

9.2 建议

附件：财务分析过程