江苏徐州工业园区-PVD真空磁控溅射镀膜项目可行性研究报告
思瀚产业研究院    2023-02-07

1、项目由来

江苏义能智光学有限公司拟投资10000万元于江苏徐州工业园区电电产业园A区建设江苏义能智光学有限公司PVD真空磁控溅射镀膜项目，该项目占地总面积约10000m2，不新增用地，本项目建成后，年产电容式触摸屏500万片、电子元器件5000万件、5G产品配件300万件。

2、项目概况

项目名称：江苏义能智光学有限公司PVD真空磁控溅射镀膜项目；

建设单位：江苏义能智光学有限公司；

项目性质：新建；

行业类别：C4011工业自动控制系统装置制造；

建设地点：江苏徐州工业园区电电产业园A区（经度：117度 23 分 9.960秒，纬度：34度24分5.277秒）；

投资总额：项目总投资10000万元，其中环保投资25万元，环保投资占总投资的0.25%；

项目地理位置及周边环境概况：本项目位于江苏徐州工业园区电电产业园A区，项目南侧为企业，西侧为省道利大线、过利大线为空地，东侧为企业，北侧为省道青白线、过青白线为企业和姚沟崖（村庄）

3、厂区平面布置

建设项目厂区平面布置是按工艺要求和总平面布置的一般原则，结合地形等特点， 在满足生产及运输的条件下，尽量节约土地，力求布置紧凑，提高场地利用系数。1号生产车间设置7个出入口、车间内部设置一条参观通道，通道南侧由西至东分为成品仓库、更衣室、办公区、大厅、进料仓库。通道北侧由西至东分为实验室、千级真空室、镀膜设备间、百级真空室、清洗间、检验室、清洗室、切磨线、固废暂存间。2号厂房为预留厂房。厂区及厂房布置设计符合设计规范，交通方便，布置合理，能够满足项目生产要求和相关环保要求。

4、产业政策相符性

本项目为PVD真空磁控溅射镀膜项目，不属于国务院《产业结构调整指导目录（2019 年本）》中淘汰和限制类项目，不属于《江苏省工业和信息产业结构调整指导目录（2012 年本）》及关于修改《江苏省工业和信息产业结构调整指导目录（2012年本）》部分条目的通知中限制类和淘汰类项目，亦不属于《江苏省工业和信息产业结构调整限制、淘汰目录和能耗限额》（苏政办发[2015]118 号）中限制和淘汰类项目，不涉及上述文件中的限制和淘汰类设备或工艺，符合国家与地方产业政策。

5、与规划的相容性分析

本项目位于江苏徐州工业园区电电产业园A区，本项目所在地块用地性质为工业用地，符合徐州工业园区用地性质要求。 根据《江苏徐州工业园区开发建设规划（2017-2030）环境影响报告书》及江苏省环境保护厅《关于江苏徐州工业园区开发建设规划（2017-2030）环境影响报告书的审查意见》（苏环审[2018]29 号），徐州工业园区产业定位为：高端装备制造、新能源汽车、装配式建筑、高新智能制造、化工产业（含精细化工、医药化工、新材料化工）。本项目产品为PVD真空磁控溅射镀膜项目，属于高新智能制造。符合徐州工业园区产业定位。因此，本项目选址符合徐州工业园区发展规划的要求。

工艺流程及产污环节简述：

①切割：外购电子玻璃原片入切割机按照规格尺寸进行切割，本工序会有玻璃边角料S1和噪声N1产生；

②磨边：切割后的半成品入磨边机对玻璃片边框进行磨边，磨边过程使用自来水进行降温冷却并避免粉尘的产生，磨边废水进入沉淀池沉淀后循环使用。在本工序会产生玻璃沉渣（沉淀池）S2、磨边废水W1、噪声N2。

③清洗、吹干：切割、磨边后的玻璃片进入清洗机，经纯水喷淋进行清洗（与磨边水为一股水），洗去切割磨边后的残留的微量玻璃碎屑和表面灰尘，清洗废水循环使用。 清洗机在对玻璃表面清洗完毕后直接常温吹干，在本工序会产生清洗废水W2 。

④百级室装片：检验后的原片进入镀膜车间，进入连续真空镀膜机。

⑤Nb2O5镀膜：对半成品进行Nb2O5镀膜。（在密闭空间内使用真空镀膜机，釆用磁控溅射技术，将Nb2O5 靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并最终在衬底上沉积成 Nb2O5保护膜）。

⑥SiO2镀膜：对半成品进行SiO2镀膜。（在密闭空间内使用真空镀膜机，采用磁控溅射技术，将SiO2靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并最终在衬底上沉积成SiO2 保护膜）。

⑦ITO镀膜：对半成品进行ITO镀膜。（在密闭空间内使用真空镀膜机，釆用直流电磁控溅射技术，以 ITO(氧化铟锡）靶材为阴极，通入氧气 、氧气并在电场作用下，诱使离化气体轰击 ITO(氧化铟锡）靶材的原子，利用动量转移将表面原子溅射出靶材表面，到达玻璃表面而形成镀膜，完成既得 ITO 导电玻璃）。

⑧主机卸片：冷却后的 ITO 导电玻璃进入真空出口室，进行卸片。

⑨包装成品：成品经检验合格后包装入库（包装过程中用到的拷贝纸用烤箱将其中的水分烘干之后方可使用），本工序产生废包装S3。

产污环节分析：

（1）废水：磨边工序产生的磨边废水、清洗工序会产生清洗废水；

（2）噪声：整体设备运行噪声；

（3）固废：生活垃圾、玻璃边角料、玻璃沉渣、废包装；

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