激光加工设备是利用高能量密度的激光束作为工具,对材料进行激光掺杂、消融、退火、蚀刻、剥离等工艺操作的先进制造装备。
激光加工设备按加工精度分,可分为激光精密微纳加工设备及非精密微纳激光加工设备。
激光精密微纳加工设备是高端制造的核心技术,是指在三维方向上,加工精度均可达100微米及以内,且加工损伤可控制在微米量级的激光加工设备,可广泛应用于光伏、半导体及新型显示╱ 光源制造领域。用于板材切割的大多数CO2激光加工设备的加工精度超过100微米,因此一般不视为激光精密微纳加工设备。
激光加工设备按脉衝宽度分,可分为连续激光加工设备、纳秒激光加工设备、皮秒激光加工设备、飞秒激光加工设备。连续激光加工设备是指激光器输出功率随时间保持恒定及呈连续波状态输出的加工系统。其能量输出是持续的,没有脉衝间隔。
纳秒激光加工设备是指激光脉衝持续时间处于纳秒量级的加工系统;皮秒激光加工设备是指激光脉衝持续时间处于皮秒量级的加工系统;飞秒激光加工设备是指激光脉衝持续时间处于飞秒量级的加工系统。其中,超快激光加工设备包括皮秒激光加工设备和飞秒激光加工设备。
激光加工设备按应用领域分,可分为光伏激光加工设备、半导体激光加工设备、新型显示╱ 光源激光加工设备以及其他。其中,光伏激光加工设备按加工对象可进一步分为光伏电池激光加工设备以及光伏组件激光加工设备;而光伏电池激光加工设备按适配的光伏电池技术可进一步分为PERC电池激光加工设备、TOPCon电池激光加工设备、HJT电池激光加工设备、BC电池激光加工设备、钙钛矿电池激光加工设备等。半导体激光加工设备是指将激光技术应用于半导体制造领域的先进设备。新型显示╱ 光源激光加工设备是指应用于新型显示Mini LED、Micro LED以及其他光源进行激光加工的专用设备。
激光加工设备按作用材料分,PCB激光加工设备和TGV激光加工设备亦是其中的代表。PCB向高密度化发展的趋势,对加工精度提出了更为严格的要求,而激光鑽孔技术可满足高层数PCB对微孔加工的需求。PCB激光加工设备是指採用激光技术对PCB实现切割、鑽孔、刻槽等加工的设备。TGV激光加工设备是指採用激光技术在玻璃基板上实现微米级加工制备的并形成TGV结构的设备。
全球激光加工设备市场产业链分析
上游包括提供激光器、振镜及整形镜等材料的光学器件供应商、提供铝加工件及不锈钢加工件等的机械加工类器件供应商、提供电学器件供应商及其他供应商,其他包括数控系统、运动系统供应商等。
中游为激光加工设备制造商。以光伏激光加工设备细分类别为例,龙头企业通常重视上下游协同佈局。于上游环节,该等企业与激光器等关键元器件的龙头供应商建立关係,藉此提升供应链稳定性。于下游环节,该等企业透过工艺验证、联合研发机制等方式,与关键客户维持紧密合作。基于对下游应用需求的深度理解,领先企业能够在新技术导入及商业化过程中抢佔先发优势,从而持续巩固其在价值链中的核心竞争地位。
下游为应用环节,激光加工设备广泛应用于光伏、半导体、新型显示╱ 光源、汽车、医疗设备行业等先进制造领域。例如,在光伏领域,激光加工设备可覆盖光伏电池片的消融、掺杂等环节,以及组件端生产的划片、串焊等环节。其中精密微纳激光加工设备被越来越多地应用在光伏电池的生产环节,并可用于BC电池的图形化工序,助力实现低成本背接触电池产业化进程。
全球激光加工设备市场规模
全球激光加工设备市场在多重下游行业扩张的带动下持续保持增长态势。于2021年至2025年期间,按收益计,全球激光加工设备行业的市场规模由人民币1,512.0亿元增加至人民币1,810.7亿元,此期间年均复合增长率为4.6%。儘管2024年全球激光加工设备市场规模出现暂时性下滑,激光精密微纳加工设备市场持续成长,而整体市场的萎缩,主要是由于包括汽车在内的下游行业对于激光焊接设备的需求减少所至。
2025年全球激光加工设备市场回升,主要得益于激光精密微纳激光加工设备需求的持续增长以及非精密微纳激光加工设备中激光增材设备需求不断上升。展望未来,行业将经历结构性转型,激光精密微纳加工技术将在光伏、半导体、新型显示╱ 光源等应用场景持续渗透,因此,激光精密微纳加工设备逐步成为市场增长重要的增长动力。2030年,以收入计,全球激光加工设备行业的市场规模预计将达到2,748.4亿元。
光伏电池激光加工设备是全球激光精密微纳加工设备市场中的重要组成部分,主要受光伏电池技术持续升级以及激光加工在光伏电池制造中进一步应用所推动。在未来五年,BC电池凭藉较高发电效率等优势,预期将成为光伏电池行业的主流。相应地,BC电池激光加工设备预期将成为未来光伏电池激光加工设备市场中最大的细分领域。按收入计算,全球BC电池激光加工设备行业的市场规模预期由2025年至2030年将录得66.9%的复合年增长率。
用于半导体制造的激光精密微纳加工设备同样也是激光精密微纳加工设备市场的重要子类,2025年,以收入计,市场规模达到105.5亿元。放眼未来,先进封装技术的持续突破,也将进一步拉动对半导体激光精密微纳加工设备的需求。2030年,以收入计,应用于半导体制造领域的全球激光精密微纳加工设备的市场规模预计将达到419.9亿元,2025年至2030年年均复合增长率将达31.8%。
PCB可用于将芯片及其他电子元器件连接成完整电子系统,是半导体器件向下游电子产品应用的主要载体。随著半导体需求不断提升,PCB需求也进一步增加,从而带动全球PCB激光加工设备市场的增长,预计2030年,以收入计,全球PCB激光加工设备行业的市场规模将提升至299.8亿元,2025年至2030年预计年均复合增长率将达10.9%。
TGV激光加工设备在半导体和新型显示╱ 光源领域得到越来越多的应用,预计2030年全球TGV激光加工设备行业以收入计的市场规模将达到144.8亿元,预计2025年至2030年年均複合增长率达到88.2%。
全球激光精密微纳加工设备行业驱动因素分析
激光加工在光伏行业中的应用日益增加。随著N型电池量产规模增加,光伏产业对激光加工设备的需求与日俱增。相较于P型电池,N型电池具备更高的转换效率上限、更低的光致衰减及更优的弱光响应等综合性能优势,已逐步成为市场主流技术路线。N型电池于加工过程中对表面钝化质量与接触电阻极为敏感,相较于传统加工方式,激光精密微纳加工设备可以在不损伤微米级钝化层的前提下完成精细制程,从而确保N型电池的性能优势的实现。例如,在掺杂环节,激光选择性掺杂设备可在金属栅线与硅片接触区实现高浓度掺杂,有效降低电流传输过程中的电阻损耗。在光伏组件加工环节,激光整板焊接设备等设备正凭藉其高效率与高稳定性优势,逐步替代传统设备,应用持续深化。
BC电池需求迎来高速增长。BC电池通过将电极全部设置在电池背面,有效减少正面遮光损失,从而提升光电转换效率,其理论光电转换效率2025年已超过29.0%,使其成为转换效率最高的光伏电池技术路线之一。此外,市场关注度逐步提升,头部光伏企业加大BC电池产能投入,而BC电池需求预期将进入增长阶段。
BC电池凭藉正面无栅线电极结构,具备“去银化”优势,有效避免银价上涨对成本的压力,成为行业对冲原材料成本风险的主流技术路径。2024年12月白银现货平均收盘价为人民币0.77万元╱ 千克,至2025年12月已升至人民币1.60万元╱ 千克,同比增长107.4%,BC电池结构複杂度较高,对加工精度、图形化能力及工艺一致性要求显著提升,激光加工技术在图形刻蚀等关键工艺中发挥关键作用,是实现高效率BC电池生产的关键工艺手段。随著BC电池产业规模扩大和技术成熟度提升,激光精密微纳加工设备市场需求预计将会增长。
TOPCon电池技术的进展。TOPCon的转换效率高、衰减率低且具备强大的量产扩展性,已成为主流光伏技术路线之一,近年来产能持续扩张。在此背景下,激光精密微纳加工设备成为关键支撑技术,用于複杂钝化接触结构的精细加工,从而提升电池效率、降低複合损耗并改善制程稳定性。与此同时,TOPCon电池技术持续进步,逐步接近单晶硅电池的理论极限。持续的制程优化预计将进一步提升其经济效益,进而带动产线升级的新增需求,支持激光精密微纳加工设备市场的持续增长。
其他新型电池产业化进程逐步推进。钙钛矿电池的发展有望进一步提升光伏转换效率上限,为行业带来新的增长空间。钙钛矿电池典型结构包含P1、P2、P3三层功能膜层,需通过激光刻划实现电气隔离与串联互连,划线精度要求通常在微米级。这一精度门槛对激光加工设备的热影响控制与线宽一致性提出了极高要求,行业正加速向超快激光刻划技术过渡以满足钙钛矿电池的严苛工艺标准。钙钛矿电池产业化进程逐步推进,部分企业已步入中试阶段。HJT电池凭藉其独特的技术架构,在生产效率提升与应用场景拓展方面展现出长期潜力。此外,HJT电池较轻,并且可适配非常规构型,契合新兴应用场景对轻量化的特殊要求。
激光加工设备在半导体及新型显示╱ 光源领域应用不断加深。随著全球半导体产业持续发展,以及人工智能、数据中心等应用需求不断提升,半导体制造工艺複杂度持续提高,对加工精度、良率控制及生产效率提出更高要求。在此背景下,激光加工技术凭藉非接触加工、高精度、热影响区小及灵活性强等优势,在半导体制造中的应用不断深化,已广泛应用于退火、解键合等多个关键环节。激光精密微纳加工设备可应用于碳化硅、TFLN等材料的激光退火等制程。
与此同时,TGV技术凭藉高空间利用率、低互连延时和低功耗等优势,在先进封装领域的应用前景拓宽。激光加工设备可在玻璃基板上实现高精度的TGV微孔成型,支撑封装技术向更高集成度演进。激光精密微纳加工设备亦凭藉加工精度、可选择性工艺适配及高通量等特性,也成为实现新型显示╱ 光源产品规模化量产关键的关键工艺装备,可实现Micro LED巨量转移、激光巨量焊接、激光修复、TGV激光微孔成型等应用场景。
全球激光精密微纳加工设备行业发展趋势
研发投入日益增长。头部企业持续加大激光精密微纳加工设备研发投入。该等技术包括TGV玻璃基板高精度刻蚀、Micro LED巨量转移等应用场景,技术门槛较高,企业需承担高额设备投资、专业人才团队的组建和管理等多重投入。这些研发投入也在推动行业进入门槛不断提升,具备核心技术积累和持续研发投入的领先企业有望将进一步巩固优势。
光伏电池 激光加工设备行业集中度提升。随著光伏电池技术持续向高效率方向演进,光伏企业对激光加工设备的加工精度、生产良率、设备稳定性及长期运行可靠性提出了更高要求。同时,光伏电池制造呈现生产节奏高、连续运行时间长及产线协同程度高等特点,对设备与产线的适配能力、工艺支持能力及售后服务能力要求日益严格。因此光伏电池激光加工设备企业在设备选型过程中更加倾向于选择技术成熟、产品性能稳定、服务体系完善且具备规模化交付能力的头部设备厂商,光伏激光加工设备行业订单向头部企业集中。
前瞻性佈局新兴领域。随著激光加工技术持续迭代及下游先进制造需求不断拓展,部分企业正积极进行前瞻性技术佈局,推动应用场景向新兴领域延伸。在光伏领域,激光精密微纳加工设备正逐步拓展至高效率光伏组件及新型电池结构等前沿应用,以及更广泛的全场景光伏应用,为未来光伏技术升级提供技术储备。在半导体领域,随著先进封装技术持续发展,激光精密微纳加工设备正加速向如RDL加工等其他先进封装关键工艺环节延伸,应用深度不断提升。通过在新兴场景提前佈局,激光精密微纳加工设备企业提前建立技术积累和客户合作基础,在新兴产业商业化进程中佔据有利竞争位置。
智能化升级。随著人工智能技术持续发展,其在先进制造领域的融合应用不断深化,正推动激光精密微纳加工设备在设备设计、设备使用及设备运维等多个环节实现智能化升级。在设备设计环节,人工智能辅助设计工具可提高设备结构设计效率和仿真验证能力,帮助企业加快产品迭代速度。在设备使用过程中,AI赋予实时感知与闭环控制能力,在运行中会检查产品是否符合要求,可以自动调整参数和校对评估自身的运行状态;在运维管理方面,基于大数据分析的AI预测性维护可有效降低非计划停机时间。人工智能的渗透,正推动激光精密微纳加工设备在效率、精度与可靠性方面的系统性提升,推动行业向智能化方向演进。
设备维护服务愈加关键。设备维护服务是售后服务的关键组成,激光精密微纳加工设备维护流程複杂,特别是激光器、振镜、光路等项目检测维护,需由专业技术人员依託检测工具才能实施。专业的维护技术服务能够实现设备综合效益最大化,通过提前预防故障,帮助客户降低运营成本。客 户 对设备稳定运行及产品良率有较高要求,因此需要激光精密微纳加工设备制造商提供专业、必要的维护服务,以保障激光精密微纳加工设备的良好状态。设备维护服务正逐渐成为客户选择激光精密微纳加工设备的重要因素之一。
全球激光精密微纳加工设备行业的成本分析
激光器作为实现能量转换与输出的核心组件,是生产激光精密微纳加工设备的主要原材料。对于激光精密微纳加工设备厂商而言,超快激光器是重要的激光器种类之一。2021年至2025年,全球头部品牌超快激光器的平均价格由每台1,116.9千元下降至975.0千元,整体波动较小。
全球激光精密微纳加工设备应用分析
光伏行业是指从事将太阳能转化为电能的产业体系,涵盖光伏电池及组件,以及相关制造及运维服务环节。全球光伏市场持续发展,行业前景广阔。于2025年,全球光伏累计装机容量超过2,800 GW。光伏市场的持续扩张带动激光精密微纳加工设备需求增长。在光伏电池及组件制造过程中激光精密微纳加工设备通过控制激光束的能量、波长、脉衝宽度和聚焦位置等参数,实现对光伏材料的刻蚀以及掺杂等工艺操作,以提高光伏电池的转换效率、降低生产成本并提升产品质量。随著光伏产业应用场景持续拓展并逐步向全场景光伏应用延伸,相关新兴应用场景对激光精密微纳加工设备的加工精度及设备可靠性提出了更高要求。
半导体行业主要指以硅、化合物半导体及其他半导体材料为基础,涵盖芯片设计、晶圆制造及封装等全流程,提供计算、存储、通信及控制能力的产业体系。全球半导体行业持续增长,以收入计的市场规模,自2021年3.6万亿元增长至2025年5.7万亿元,2021年至2025年的年均複合增长率为12.2%,预计2030年将增至16.9万亿元,2025年至2030年预计年均複合增长率为24.3%。受人工智能、数据中心等应用驱动,先进制程和高端封装需求快速提升,半导体行业对加工精度、生产一致性和设备可靠性提出更高要求,为激光精密微纳加工设备市场提供持续机会。
在半导体制造和封装环节,激光精密微纳加工设备可支持针对碳化硅和TFLN等材料的先进激光退火制程,以及包括TGV激光微孔成型、RDL激光鑽孔和CPO激光加工在内的关键制程。此外,在半导体加工过程中,包括PCB在内的其他元器件的需求也在持续提升。预计至2030年全球PCB行业以收入计的市场规模,预计达到人民币7,514.3亿元。同样可被应用于PCB的高精度鑽孔、微孔加工等关键工序。
新型显示╱ 光源行业指基于微型发光器件、薄膜器件及其他先进显示/光源技术,提供高亮度、高分辨率、低功耗及柔性化显示解决方案的产业体系,包括Micro LED等前沿显示。全球新型显示╱ 光源市场正处于快速增长阶段,受智能手錶等可穿戴设备、车载显示等新兴应用需求拉动,行业发展空间不断扩大。在新型显示╱ 光源制造过程中,激光精密微纳加工设备显著提升加工精度、良率和生产效率,满足高密度、微米级显示器件的精密制造需求。
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