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PCB载板化,mSAP工艺带来设备价值抬升
思瀚产业研究院    2026-06-26

1、受益于AI PCB硬件升级,mSAP工艺关注度提高

过往mSAP工艺主要应用于手机主板、BT载板领域。

1.6T光模块对PCB性能要求提升,需要使用mSAP工艺。1.6T光模块采用8×224Gbps PAM4通道设计,奈奎斯特频率高达56GHz,信号对插损、回波损耗、串扰及阻抗波动极度敏感,且OSFPXD封装尺寸受限,需在有限空间内集成16-20层线路,线宽/线距需缩小至15μm/15μm,布线密度大幅提升。传统减成法蚀刻精度低、线路侧壁不规则,无法实现细线路和高阻抗稳定性,而mSAP通过超薄种子铜层、图形电镀、闪蚀等流程,可实现陡直的线路侧壁和±1-2μm的线宽公差,有效降低信号损耗,适配高密度互联需求。

面向未来,CoWoP工艺的渗透、NPO的渗透将进一步打开mSAP工艺的使用空间。

CoWoP工艺要求最底层的PCB达到类载板级别的线宽线距。伴随封装技术的持续推进,CoWoP工艺(Chip-On-Wafer-On-PCB)提上产业化日程。相比于CoWoS工艺(Chip-On-Wafer-OnSubstrate),CoWoP工艺省略了封装基板,因此对最底层的PCB提出了接近载板化的布线要求。线宽线距的缩小倒逼PCB厂使用mSAP工艺进行布线。

NPO工艺需要更精细的线路以提供更高的带宽。NPO(近封装光学)虽然将光引擎从交换机外的可插拔模块中搬到Switch ASIC旁,但实质上光引擎与ASIC仍共存于系统级PCB上,信号传输依靠PCB走线。伴随信号传输速率的不断提高,奈奎斯特频率越高/趋肤效应加剧,需要更高的铜表面质量。另外带宽需求的提高带动更密集的SerDes走线要求,需要进一步缩小线宽线距。需要使用mSAP工艺。

2、 PCB升级,从Tenting法到mSAP法再到SAP法

从Tenting法-mSAP法-SAP法,本质上是为了做出更加精密的线路。

Tenting法为传统主流工艺。以12μm底铜的覆铜板为起点,经激光钻孔+除胶→水平电镀沉铜(1-2μm)→VCP垂直电镀增厚→贴干膜→曝光显影(线路处干膜聚合)→蚀刻去铜→剥膜成型留下线路。核心逻辑为“全铜减去多余”,工艺成熟、成本低,但铜层越厚侧蚀越严重,线宽/间距(L/S)极限约35μm,难以满足高密度互联需求。

现阶段主流的HDI、高多层(高频高速)等PCB主要都使用Tenting法进行加工。

mSAP法为改良型半加成法。核心层的加工仍然为Tenting工艺,在增层上使用mSAP工艺。增层以2μm底铜的载体铜箔(种子层)为起点,经激光钻孔+除胶→闪镀沉铜增厚(3-5μm)→贴膜→曝光显影(非线路处干膜聚合)→蚀刻去铜(非线路处的铜被去除掉)→VCP电镀增厚+填孔(使得线路与激光孔铜厚增加很多)→剥膜闪蚀(把被干膜覆盖的非线路部分种子层快速刻蚀掉,而线路上的铜晶格发生变化不会被刻蚀)。核心逻辑为“种子层薄易去除+VCP加成增厚出电路”,由于种子层较薄,因此可减轻侧蚀,线宽/间距极限约15μm,初步满足高密度互联的需求。

mSAP工艺主要应用在SLP(类载板)领域,如苹果手机主板、BT载板(存储)、1.6T光模块PCB,以及潜在使用的CoWoP工艺、NPO。

SAP法为半加成法,与mSAP法有较大重叠度。SAP法从绝缘材料出发,需先压合ABF膜,后在ABF膜上闪镀一层0.3-0.5μm的铜层作为种子层。后续的流程与mSAP均相同。SAP法可将线宽线距缩小到15μm以下。

SAP工艺主要应用在ABF载板与玻璃基板领域。

3、mSAP工艺下钻孔/曝光/电镀/成型环节均有受益

mSAP工艺对设备提出了更高的要求。

①曝光设备:线宽线距降低至15μm,LDI设备需实现±0.5μm的成像精度和±1.5μm的对位精度,确保细线路图形的精准呈现,芯碁微装LDI设备已经实现15μm线宽线距能力;另外洪镭光学也有对应设备布局(洪田股份子公司)。

②钻孔设备:孔径缩小至50μm左右,相比于CO2激光钻,超快激光钻加工小孔能力更强,成为更优的解决方案,大族数控目前已有成功案例(超快激光钻与头部客户均有接触,实现批量化)。

③电镀设备:需控制铜厚均匀性在±5%以内,保证线路分布均匀、无凹陷,东威科技已经实现mSAP工艺VCP电镀设备(移载式VCP-红板、沪电)量产,另外水平三合一也拿到可观订单(沪电7条线);另外东莞速远也有对应设备出货(洪田股份子公司)。

④成型设备:1.6T光模块PCB面积小结构复杂,对于分板成型提出更高需求,CCD锣机成为1.6T光模块PCB成型的优质方案,大族数控目前已有成功案例,与兴斐合作开发CCD锣机。

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